以 C 企业半导体制造过程为对象,运用 LEC 评价法和层次分析法进行安全风险评价和控制,针对化学品、特种气体等高风险环节制定管控措施。
半导体制造过程安全风险因素复杂、管控不足。
建立了半导体制造过程的安全风险评价与管控体系。
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